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單晶矽壓力變送器

簡要描述:

單晶矽壓力變送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度、压力,然后将其转变成4-20mAHART电流信号输出,也可与HART375或BST Modem相互通信,通过他们进行参数设定、过程控制。与传统压力变送器的区别在于它使用的是纳米单晶硅作为传感器材料。

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單晶矽壓力變送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度、压力,然后将其转变成4-20mAHART电流信号输出,也可与HART375或BST Modem相互通信,通过他们进行参数设定、过程控制。与传统压力变送器的区别在于它使用的是纳米单晶硅作为传感器材料。
單晶矽壓力變送器是本公司引進國外先進技術,進口國外單晶矽傳感器,自行研制開發的帶HART通訊協議的智能壓力變送器,是新一代高性能智能差壓、壓力變送器。它采用目前國際上先進的微機械單晶矽傳感器技術,利用單晶矽材料極佳的穩定性與重複性特點,通過微機械加工工藝與激光焊接封裝工藝,可靠性與穩定性極高,單向過載于靜壓影響極小。HART數字通信技術增添了智能化與數字通信功能,進一步滿足了工業現場測量隊儀表高可靠性、高穩定性與智能化的要求。
傳感器模塊采用全焊接技術,內部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作爲溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內的矽芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化,從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉化成一標准化信號輸出。

單晶矽壓力變送器工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶矽的壓阻效應而構成。采用單晶矽片爲彈性元件,在單晶矽膜片上利用集成電路的工藝,在單晶矽的特定方向擴散一組等值電阻,並將電阻接成橋路,單晶矽片置于傳感器腔內。
單晶矽壓力變送器當壓力發生變化時,單晶矽産生應變,使直接擴散在上面的應變電阻産生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

單晶矽壓力變送器主要參數:
测量范围: 0-1kPa-10MPa
輸出信號:4-20mA,4-20mA+HART
參考精度:±0.2%URL
稳定性:±0.2%URL/ 年
膜片:SS316L,哈氏合金 C
介質溫度:-40~120℃
防護等級:IP67
过程连接:M20*1.5(M),G1/2(M),G1/4(M),1/2-14NPT(M) 等
測量介質:液體、氣體、蒸汽
认证: CE、隔爆

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